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X射線熒光光譜儀可以分析粉末樣品、熔融樣品、液體樣品、固體樣品等,非金屬或金屬都可以分析;火花直讀光譜儀只能分析固體樣品,而且要求樣品是導電介質,簡單的說就是分析金屬固體樣品中的金屬或者非金屬元素。
X射線熒光光譜法的定量分析是以熒光X射線的強度為依據的,因此,一切影響X射線熒光光譜儀射線強度的因素都必將影響分析的準確度。