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德國斯派克分析儀器公司推出的SPECTRO MIDEX微區分析X射線熒光光譜儀適合于電子電氣產品微小樣品以及微小區域以及整機的元素分析，分析樣品的形態可以為固體或者液體，分析過程對樣品沒有損害。樣品室有易于調節的樣品臺，通過20倍率變焦攝像系統和激光指位系統，可準確的確定測量位置。X射線照射面積小可選0.2mm小焦點聚焦面積，能量無損失，定位更加精準，可以測試到細小的焊端，引腳和BGA焊球，測量點直徑小為1.0mm。同一個樣品在同一臺機器測試多次的結果偏差小于0.03%,在不同的機臺測試同一個樣品的結果偏差小于
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