光譜起源于17世紀，1666年物理學家牛頓第一次進行了光的色散實驗。他在暗室中引入一束太陽光，讓它通過棱鏡，在棱鏡后面的自屏上，看到了紅、橙、黃、綠、蘭、靛、紫七種顏色的光分散在不同位置上——即形成一道彩虹。這種現象叫作光譜．這個實驗就是光譜的起源，自牛頓以后，一直沒有引起人們的注意。

經歷了100多年的發展探索與研究，1859年克希霍夫和本生為了研究金屬的光譜自己設計和制造了一種完善的分光裝置，這個裝置就是世界上第一臺實用的光譜儀器，研究火焰、電火花中各種金屬的譜線，從而建立了光譜分析的初步基礎。直至1882年，羅蘭發明了凹面光柵，即是把劃痕直接刻在凹球面上。凹面光柵實際上是光學儀器成象系統元件的合為一體的高效元件，它解決了當時棱鏡光譜儀所遇到的不可克服的困難。凹面光柵的問世不僅簡化了光譜儀器的結構，而且還提高了它的性能。

1928年以后，由于光譜分析成了工業的分析方法，光譜儀器得到迅速的發展，一方面改善激發光源的穩定性，另一方面提高光譜儀器本身性能。

    早的光源是火焰激發光譜；后來又發展應用簡單的電弧和電火花為激發光源，在上世紀的三十、四十年代改進采用控制的電弧和電火花為激發光源，提高了光譜分析的穩定性。工業生產的發晨，光譜學的進步，促使光學儀器進一步得到改善，而后者又反作用于前者，促進了光譜學的發展和工業生產的發展。

    六十年代光電直讀光譜儀，隨著計算機技術的發展開始迅速發展。由于計算機技術的發展，電子技術的發展，電子計算機的小型化及微處理機的出現和普及，成本降低等原因、于上世紀的七十年代光譜儀器幾乎100％地采用計算機控制，這不僅提高了分析精度和速度，而且對分析結果的數據處理和分析過程實現自動化控制。

    解放后，我國的光譜儀器工業從無到有，由小到大，得到飛躍的發展，且具有一定的規模，與世界先進技術競爭中求生存，社會商品競賽中得到發展。

    1958年開始試制光譜儀器，生產了我國第一臺中型石英攝譜儀，大型攝譜儀，單色儀等。中科院光機所開始研究刻制光柵，59年上海光學儀器廠，63年北京光學儀器廠開始研究刻制光柵，63年研制光刻成功。1966—1968年北京光學儀器廠和上海光學儀器廠先后研制成功中型平面光柵攝譜儀和一米平面光柵攝譜儀及光電直讀頭。1971—1972年由北京第二光學儀器廠研究成功國內第一臺WZG—200平面光柵光量計，結束了我國不能生產光電直讀光譜儀的歷史。