1、 標準樣品（Standard Sample）：光譜定量分析是一種相對分析方法，必須使用含量經過精確標定的樣品來制作校準曲線（Calibration Curve）或工作曲線（Work Curve），以確定分析樣品（Unknown Sample）的含量，這種含量經過精確標定的樣品一直被光譜分析工作者稱為“標準樣品”，簡稱為“標樣”（或“標鋼”），其正規名稱是 “標準（參考）物質”（Conference Materials），又簡稱為“標物”。光譜定量分析的標準樣品都是成套的，用于金屬樣品光電光譜分析的標準樣品一般是塊狀或棒狀，其基本要求是：分析元素分布均勻，化學成份可靠；組織結構、尺寸、加工方法等要與分析樣品基本一致，不能有偏析、裂紋、夾雜等缺陷，并經過均勻度檢查符合要求；一套標準樣品分析元素含量要有一定梯度，含量范圍比要求分析的含量范圍稍寬。各國的“標準物質”的研制都是嚴格管理的，獲得國家權威部門認可的標準物質一般是公開銷售的。標準物質的詳細知識和行情可到“中國標準物質網”咨詢。為了同下面要講的幾類標樣相區別，分析工作者常把建立校準曲線的標準樣品常稱為“校準標樣”（Calibration Standards or Calibration Samples）或“工作曲線標樣”。 

2、 標準化樣品(Standardization Sample)：用“持久曲線法”進行光譜定量分析，儀器參數漂移不可避免要引起工作曲線漂移，需要通過“標準化”（Standardization）來調整。標準化樣品就是標準化操作中所用的特殊樣品,有的資料里又有 “校正標樣”（Setting-up Samples）、再校準標樣（Recalibration Samples）等名稱。其基本要求是：組成和結構均勻穩定，目標元素的含量有特定要求，但不必有準確的標定值。用于低端的標準化樣品的光強值盡可能接近相應元素校準曲線的低端值，用于高端的標準化樣品的光強值盡可能在相應元素校準曲線的中高端范圍。標準樣品可以用作標準化樣品，但要為盡可能多的元素選取數目盡可能少的標準化樣品是個難題。標準化樣品應該在作校準曲線的同時測光以確定初始數值，若要使用儀器“隨機”所帶的校準曲線，必然需要儀器商提供相應的標準化樣品。標準化樣品是可以更換的，但必須在舊的標準化樣品用完之前試驗確定新的標準化樣品的測光值。

3、 監控樣（Control Sample）：光譜分析的自動化程序中，用于監控儀器的漂移程度，把握恰當的標準化操作（Standardization）時機，從而保持儀器正常工作狀態的試樣。通過數理統計分析確定監控樣監控的目標元素測定值的上、下限，按設定的時間間隔（一般比兩次標準化的間隔短）分析監控樣，若目標元素的測定值超出界限，則報警提示進行相應的標準化操作；用新的標準化系數修正產生報警的監控樣的測定值，若合格則標準化有效。用人工方式也可以使用監控樣，使日常標準化操作更合理，并可減少標準化樣品的日常消耗。 

4、 “內控樣”或“類標準化樣品”（Type Standard Sample）：“內控樣”源于“控制試樣法”所用的“控制試樣”。起初在攝譜法中是用一控制樣品和分析樣品一起攝譜，以確定工作曲線的移動位置；后來有人提出用簡單的合金或二元合金做出工作曲線，用控制試樣確定復雜合金的一個坐標點，通過此點平行做出復雜合金的工作曲線，進而發展為用較少種類的標鋼作多鋼種的分析方法。現在光電光譜分析中的 “內控樣”，主要用于修正分析樣品與“校準標樣”之間由于組織結構和化學組成不一致引起的分析結果的偏差。“內控樣”是我國光譜分析人的習慣稱呼，國外人士稱為Type Standard Sample，直譯過來就是“類型標準化樣品”，簡稱為“類標”(Type Standard)。其基本要求是：組織結構和化學成份均勻并且要與被分析的末知樣品一致（若不一致就難以達到"校正"的目的），元素含量要有準確的定值。內控樣一般由本單位自行研制。分析組成復雜樣品或新鋼種又沒有合適的標樣作工作曲線時，內控樣修正法是比較簡捷的辦法。但在日常分析中長期使用內控樣又比較煩瑣。其實，如果消除了“末知樣”與“工作曲線標樣”之間組織結構差異的影響，又正確校正了共存元素干擾，內控樣是可以少用甚至不用的。

控制樣(Control Samples)要求結構、成份均勻，如果監控某一曲線（或某一規格的材料），其中的被監控元素的濃度，對應于曲線（或該規格的材料含量）的上中段，需要濃度定值，更要有根據多次測定結果經數理統計處理得到的分析值的允許范圍，這些測定應該在所用的儀器上進行。如果監控某一曲線，好用標準樣品作控制樣；如果是監控某一規格的材料（生產分析），可以用組織結構類似的樣品自制，降低運行成本。控制樣(Control Samples)更注重的是允許的“濃度范圍”。同一只控制樣(Control Samples)可用于監控幾個不同元素。