在汽車和運輸、微電子、制造和醫療器械等行業中，產品及其組件的性能和使用壽命非常容易受到污染的影響。
徠卡DM6 M LIBS材料分析解決方案 (參考圖 1) 等二合一解決方案將光學顯微術 (目視分析) 和激光誘導擊穿光譜 (LIBS) (化學分析) 相結合。與掃描電鏡檢查法(SEM) 和能量色散譜(EDS) 等其他方法進行比較，在高效清潔度分析中占據著優勢。
查找和消除污染源更輕松
對于技術清潔度，最終目標是查找和消除污染源。二合一解決方案可以用更少的時間和精力識別污染源，因為清潔度分析流程得到了簡化。
與使用掃描電鏡檢查法 (SEM) 和能量色散譜 (EDS) 進行分析的不同之處在于:
>無需樣品制備；
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