清潔度檢測系統

系統的光路目前已經是為清潔度專門設計，特有的自動偏光能在掃描過程中直接快速準確識別反光和非反光顆粒。

• 自動偏光法是根據反光與非反光顆粒的折射率不同，在偏振片下呈現出的明亮和黑暗，結合軟件的灰度判定來直觀準確地判斷反光于非反光顆粒的。這種判定方法不受顆粒形狀的影響，只要是亞光顆粒，在偏振下就是全黑色的，而其余的顆粒就是反光顆粒。

• 其他公司則使用自然光法，對于球狀顆粒的誤判性很高。其原因是，球狀亞光顆粒在自然光下會呈現局部黑暗，局部明亮的雙重性，對于僅僅依靠灰度來識別的軟件而言，難以判定其究竟是反光還是亞光顆粒。

Modified diaphragm module of 11888738 (Stand top DM6000M, Cleanliness Expert)

and 11888737 (Stand top DM4000M, Cleanliness Expert)